2022年8月4号，我院《集成电路制造关键工艺及制程整合虚拟仿真实验平台》获得中国高等教育学会第57届中国高等教育博览会“校企合作双百计划”典型案例称号。这是1331.c.om.银河游戏虚拟仿真平台建设和人才培养的近年来取得的一系列成果之一。

目前集成电路的人才缺口比较大。在人才培养过程中，也遇到一些困难。由于学校在集成电路实验设备远远落后于实际生产设备、实验条件苛刻、存在危险性、实验运行费用大等原因。导致高水平实验，特别是研究探索型实验难于开展，使教学与实际生产严重脱节，影响了高素质的人才培养。

目前各高校均无法开展芯片生产环境下的集成电路实验。学生只学习书本上的理论知识，难以掌握实际的实践。对人才培养质量影响大，在华中科技大学和1331.c.om.银河游戏的大力支持下，1331.c.om.银河游戏实验教学中心建设了基于实际生产线的《集成电路制造关键工艺及制程整合虚拟仿真实验平台》。

该虚拟仿真平台再现集成电路实际生产过程，通过3D虚拟仿真技术还原微电子工艺生产车间，解决了集成电路制造实践教学中的“卡脖子”难题。学生利用平台、借助注解提示信息及透视、显形、互动化的表达方式，可更好地理解设备、各个工艺环节的基本原理和细节的巧妙之处，完成了一次“芯片制程之旅”。系统从CMOS电路微观结构，工艺流程，到封装等流程全部覆盖。

该平台开展在教学内容上创新：以0.18μmCMOS实际生产线为蓝本，理论密切联系实际；注重实验的高阶性和探究性。在教学理念上也做了创新：从“说工艺”，到“做工艺”，把“做”和“说”有机地结合起来，达到事半功倍的效果。目前，实验中心依托该平台构建产教协同层次培养体系，依托该虚拟仿真平台，开展了《集成电路认知实验》、《微电子工艺学》理论教学的辅助实验、《微电子工艺课程设计》、暑期《生产实习》、毕业生专业培训、企业新进员工培训等课程和培训。该平台获得了校内外师生的好评。

平台建设以来，获得了一系列的成果，2021年获12届《华中科技大学实验技术项目成果一等奖》，出版电子教材一部，软件著作权一项，依托该平台开展的实验课程《基于生产环境的集成电路光刻工艺互动式虚拟仿真实验》获湖北省一流课程，被推荐参选国家一流课程。2022年8月，入选中国高等教育学会第57届中国高等教育博览会对2021年度中国高等教育博览会“校企合作 双百计划”典型案例。