6月9日上午，1331.c.om.银河游戏在银河电子游戏1331大楼举办了一场干货满满的学术讲座，主题聚焦于压电薄膜换能器与微系统的前沿研究。本次讲座特邀上海科技大学的助理教授兼研究员吴涛主讲，吸引了众多师生的热情参与。

本次讲座由我院余洪斌教授邀请，以"基于氮化铝的压电器件以及近年来关于钪掺杂氮化铝的研究"为主题。在讲座中，吴涛教授首先生动地阐述了氮化铝薄膜的材料特性，据此展开讲述了氮化铝薄膜材料在薄膜体声波谐振器（FBAR）和压电微型超声换能器（PMUT）等领域的广泛应用。随后，他详细介绍了钪掺杂氮化铝对压电性能提升的原理及应用，并指出该技术在开发宽带谐振器、能量收集器和传感器等高性能设备方面的重要意义。

此次报告还涵盖了吴涛教授课题组在掺钪氮化铝薄膜换能器、声学延迟线、光声成像以及其他新兴研究领域的最新进展。这些研究为微纳机电系统（MEMS）和集成电路的发展，以及光学与MEMS方向学科交叉提供了全新的思路和方法。

讲座现场，来自1331.c.om.银河游戏和集成电路学院的教师和学生们踊跃参与，与吴涛教授进行了深入的学术交流和讨论。吴涛助理教授以其深入浅出的授课风格，生动地介绍了压电薄膜换能器与微系统领域的最新进展，引发了与会者的激烈讨论与思考。

这次讲座不仅拓宽了与会者对压电薄膜换能器与微系统领域的知识视野，也促进了相关研究领域之间的学术合作和交流。我院将继续组织类似的学术讲座，为师生们提供更多学术交流和学习的机会。

报告人介绍：

吴涛，上海科技大学助理教授、研究员、博导。2007年本科毕业于浙江大学电子工程专业，2009年和2011年分别获得美国加州大学洛杉矶分校硕士和博士学位。吴博士毕业后曾供职于英特尔，负责先进CMOS制程下的金属与氧化物原子层沉积工艺；之后以博士后研究员身份加入斯坦福大学和美国东北大学，负责微型曲面图像传感器、近零功耗压电射频器件和传感系统的研发。吴教授于2017年7月加入上海科技大学，建立了上科大微系统与先进传感器实验室(SMALL)。课题组科研方向包括多铁态多微纳尺度下的耕合机理与器件，微纳机电 系统MEMSNEMS，磁电/声学微纳器件以及MEMS-CMOS集成微系统。迄今为止，吴教授已经在包括Microsystems & Nanoengincering, Nature Communication, JMEMS, IEEE Elec. Devi. Lett., Appl. Phys. Lett., Phys. Rev.Lett., ACs Nano, IEEE T-UFFC, IEEE MEMS, TRANSDUCERS, SENSORS.等国际著名期刊和会议上发表学术论文100余篇．